无尘净化厂房是以具有洁净室和洁净区作为重要标志的生产厂房。根据《洁净厂房没计规范》GB50073中定义:洁净室是指空气悬浮粒子浓度受控的房间;洁净区是指空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。洁净室和洁净区的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。室内或区域空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
洁净区可以是开放式也可以是封闭式。洁净室的分类方法很多,但的是按洁净室的气流流型和洁净室的使用性质来进行分类。
洁净室火灾危害预防及处理:
警报设备:
a. 装置位置:
1、高度:洁净室内部高度通常较一般建筑为大,在选用探测器时应将天花板高度考虑在内。
2、通风换气设备:装设侦烟式探测器时,应设于烟雾流动必经途径,装设感热式探测器时,应设于易蓄热处,因此通风换气设备之出风口或回风口,应注意与探测器保持一定距离,方能迅速感应及动作。
3 、层流现象:洁净室内因换气频繁,平均约六秒钟席卷整个空间一次,同时间单位内的空气流动量高出一般建筑物甚多,因此空气流动的层流现象应考虑在内,以避免探测器无法有效测知火灾,形同虚设。
b.种类:火焰式探测器、侦烟式探测器、极早期探测装置,洁净室防灾时,重点在于早期发现,因此灵敏度越高越好,以期灾害发生初期便能反应,甚至在尚未发火前便能测知有发火的可能性,如极早期探测装置便是以此为理念的设计。
洁净厂房空调系统特点
洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同,它首先对控制区的洁净度有很高要求。导体器件厂房内,在硅衬底上只要落有电路线宽1/10~1/3大小的尘埃,就可能导致芯片电路短路。如今,半导体集成电路的发展突飞猛进,近英特尔公司更是推出了采用32
nm线宽的处理器芯片,把生产环境的洁净度控制推向了。另外,洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外,还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。
同时,由于半导体器件生产工艺的特点,要求洁净厂房内全天(24h)保持相应的洁净度,目此,洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24
h运行,这也与其他空调系统极其不同。运行时间的增长也使其空调系统的节能更具有潜力和意义。